В августе 1813 г. Наполеон послал Удино на Берлин, ему должна была помочь французско-датская группировка Даву, стоявшая в Гамбурге. Но союзники сорвали наступление на Берлин, Удино отступил. Позднее не смог взять Берлин и Ней, назначенный вместо Удино. Наполеон потерял Пруссию. Но император отразил наступление Шварценберга и в Дрезденском сражении 26 августа разбил его Богемскую армию. Развить успех Наполеону помешал разгром при Кульме французского корпуса Вандама, шедшего ему на помощь к Дрездену, и провал Макдональда, вытесненного Блюхером из Силезии.
Осенью 1813 г. союзники решили выбить Наполеона, крепко засевшего в Дрездене, и двинули на него сразу все свои армии. Наполеон выступил к Лейпцигу, навстречу противникам. Но разбить их поодиночке до объединения ему не удалось. Под Лейпцигом 16—19 октября 1813 г. состоялась крупнейшая битва кампании — Лейпцигское сражение, или Битва народов. Против Наполеона сражались русские, австрийцы, пруссаки и шведы. Кровопролитное сражение шло несколько дней, не выявляя победителя. К союзникам подходили всё новые силы, и Наполеону с трудом удалось прорвать кольцо окружения и отступить к границам Франции. Прикрывая отход Наполеона, был смертельно ранен Понятовский.
Под давлением побед коалиции стал распадаться созданный Наполеоном в 1811 г. Рейнский союз германских государств. Бавария присоединилась к австрийцам и преградила путь отступавшим французам у г. Ганау, но Наполеон разбил баварцев и австрийцев и отступил во Францию. Германия была освобождена от французского владычества. Войска коалиции остановились на Рейне, готовясь к вторжению во Францию.
Силезийская и Северная армии форсировали пограничную реку Рейн в начале января 1814 г. и вошли во Францию. Австрия не желала больше сражаться, и Шварценбергу было приказано сдерживать движение Главной армии. Но горячий Блюхер и предвкушавший триумф над Наполеоном Александр рвались в Париж.
Несогласованность действий союзников дала Наполеону время собраться с силами, и в феврале он одержал ряд блестящих побед над прусско-русской армией Блюхера. От разгрома её спасло вмешательство Шварценберга, но первое наступление на Париж провалилось. В конце февраля 1814 г. Блюхер снова двинулся на Париж. Ряд ожесточённых боёв в марте 1814 г. остановил его продвижение, но тут активизировался Шварценберг. Наполеон не давал союзникам объединиться, вклиниваясь между ними и нарушая их коммуникации. Он даже решил прорваться на север Франции и освободить блокированные в крепостях гарнизоны, чтоб пополнить ими свою армию. Император был уверен, что союзники, опасаясь, что он ударит им в тыл, не решатся на активные действия.
Но Блюхер и Шварценберг, случайно узнав о планах Наполеона, объединились и двинулись на Париж, защищённый только малочисленными войсками маршалов Мортье и Мармона и отрядом Национальной гвардии. Узнав о наступлении на Париж, Наполеон повернул войска на помощь яростно сопротивлявшимся защитникам столицы. Но он опоздал. Маршалы и испугавшийся за свою участь брат Наполеона Жозеф Бонапарт не дождались императора и сдали Париж. Ключи от города принял русский генерал М.Ф. Орлов, и 31 марта 1814 г. войска VI коалиции торжественно вступили в столицу Франции.
Министры и приближённые Наполеона оставили императора, его один за другим предавали маршалы. В Наполеона больше не верили. Его маршалы уговорили императора ради спасения Франции отречься от власти.
6 апреля Наполеон подписал отречение от престола. Союзники восстановили во Франции свергнутую революцией династию Бурбонов. Низложенного императора отправили в ссылку на о. Эльба в Средиземном море, а новый король Людовик XVIII 30 мая подписал с союзниками Парижский мир